yolov3模型在图形晶圆表面缺陷检测上的优化与应用

Abstract: 传统的缺陷检测算法已不能满足半导体图形晶圆表面缺陷检测的要求，而近年来快速发展的深度学习技术，尤其是目标检测技术提供了一种新的解决思路。但是已知的绝大多数目标检测模型都是基于特定的公开数据集设计的，并不一定适合晶圆缺陷检测场景。考虑到yolov3模型已在实践中得到广泛应用，所以本文在yolov3模型的基础上进行适当修改和优化，使之适应半导体图形晶圆表面的缺陷检测场景，修改后的模型称为Sky-yolov3。实验结果表明，Sky-yolov3模型可以在几乎不牺牲推理速度的情况下性能提升6.09%。

Key words: 图形晶圆；缺陷检测；yolov3；注意力机制；数据增强

Cite as: JOSarXiv.202108.0001

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